石英晶體振蕩器是以石英晶體單元的基波振蕩為波源而構成的振蕩器；全硅MEMS振蕩器則以硅諧振單元為波源，并由溫度補償電路及獲取任意頻率的鎖相環電路構成。本次進行特性比較的振蕩器基本結構如《圖1》所示。從基本結構可以看出，石英晶體振蕩器的結構簡潔，而全硅MEMS振蕩器的結構復雜，包括諧振單元部分、鎖相環部分及溫度補償部分。受復雜結構的影響，導致振蕩器在噪音增幅、消耗電流的增加等性能方面出現各種差異。下頁《表1》表示振蕩器源自結構差異的不同特征。在此，我們通過石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的性能比較，介紹作為基準信號源所需特性。

表1：諧振器的不同的型式所使得的本質特征差異化
震蕩器的結構的（類）	的特點
石英石結晶體（基波）自激振蕩器	通過熔融石英的基波諧振使集成運放組成部分單一的比較簡潔，用用電量量少，并還具有優越性的空調噪聲和發抖特質。
全硅MEMS自激振蕩器	用鎖相環電源電線為了方便獲取同一頻繁，但電源電線設計繁雜產生了發熱量量過大。并且，全硅MEMS自由振蕩器用小數分頻鎖相環電源電線對全硅MEMS諧振單位去的溫度補上，因而將產生了間歇性的頻繁活躍，造成的吵音與會抖性能特點受損。

【石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的特性比較】
下列項目是用于電子設備及通信系統設備的振蕩器應具備的性能。通過這些項目的實際測試，比較石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的性能。比較時使用愛普生制造的“SG-210S*B”石英晶體振蕩器及兩種全硅MEMS振蕩器。
在此須提醒注意的是：這是愛普生晶振公司內獨自實施的測試，測試結果并不能保證實際產品的特性。
比較項目
1）頻率溫度特性 → 溫度變化時頻率的穩定性如何？
2）相位噪音與相位抖動 → 通信設備重要要素之一的噪音性能如何？
3）電流消耗 → 消耗的電流量大小？
4）起振特性 → 通電后的起振特性與穩定性如何？
5）頻率穩定度 → 頻率穩定性如何？
1）頻率溫度特性
測試頻率溫度特性時，在-40℃的低溫下頻率穩定后，以+2.0℃/分的梯度使溫度連續上升至+85℃，測試該溫度段中的頻率，結果如《圖2》所示。
“SG-210S*B”石英晶體振蕩器的溫度特性呈現AT型晶體特有的連續性的三次曲線。部分產品亦能夠在較大的溫度范圍內保持特性穩定，例如帶簡易溫調功能的石英晶體振蕩器“SG-211S*E”等。圖中可以看出全硅MEMS振蕩器與石英晶體振蕩器同樣，亦能夠在大溫度范圍內保持良好的頻率溫度特性。但是，全硅MEMS振蕩器的硅諧振單元的溫度特性為線性，為保證頻率穩定性則需要使用小數分頻鎖相環電路進行精密補償。因此，從《圖3》的放大圖可以看出，分頻比切換時將產生間斷性的頻率跳動（溫度特性曲線中的微小折皺）。如上所示，溫度點的振蕩頻率的不連續性將引起輸出信號相位變化，從而對下文說明的噪音和抖動特性造成不良影響。

2）相位噪音與相位抖動
《圖4》表示3.3V電源電壓、+25℃條件下的石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的相位噪音特性實測結果。
如《圖4》所示，全硅MEMS振蕩器的相位噪音曲線的一部分變大，這起因于全硅MEMS振蕩器的基本結構（《圖1》）。由于全硅MEMS振蕩器所采用的鎖相環電路的工作原理是鎖定壓控晶體振蕩器（以下稱為“VCO”）發出的波源后輸出倍頻，因此這種振蕩器的相位噪音特性受其振蕩電路及鎖相環電路的兩種因素的影響。通常情況下，全硅MEMS振蕩電路的載波周圍低頻的相位噪音特性不及石英晶體振蕩電路；高頻側則顯示出VCO的相位噪音特性而呈現下降趨勢。
從《圖4》的全硅MEMS振蕩器②也可以看出，部分全硅MEMS振蕩器具有良好的相位噪音特性。這類產品為減少高頻側的相位噪音而采用了降低VCO與鎖相環電路相位噪音的方法。在VCO與鎖相環電路采取措施降低相位噪音時通常將使耗電量急劇增大。而且，伴隨耗電量的增大，受分頻比切換的影響而產生的雜散將變得更顯著。
以下《表2》表示相位抖動的實測結果。
根據SONET/SDH的標準，使用相位抖動的指標之一，從12K至20MHz的相位抖動量進行比較。
使用鎖相環電路的振蕩器的頻率倍增數越大相位噪音特性越差，所產生的雜散對相位抖動造成不良影響。全硅MEMS振蕩器②采用了有效的相位噪音特性改良方法，獲得了很好的相位抖動值。但受振蕩器結構的影響，亦未能達到石英晶體振蕩器的數值。
無線通信設備基于相位調制技術進行通信，若在無線通信設備中使用相位抖動特性較差的振蕩器作為基準信號源，則無法在產生噪音時準確調制，不能正確收發數據，亦可能導致無法發揮通信設備應有功能的惡果。

表2：各品牌的相位抽動測試圖片結局
企業產品	幀率	相位跳動（緊急制動率：12kHz-20MHz）
“SG-210S*B” 熔融石英氯化鈉晶體振蕩器器	25MHz	0.32ps
全硅MEMS震蕩器①	24MHz	15.2ps
全硅MEMS震蕩器②	19.2MHz	0.76ps

3）電流消耗
表3》表示3.3V電源電壓、+25℃且負載電容等于10pF的條件下的各振蕩器耗電量實測結果。
石英晶體振蕩器采用波源基波振蕩方式，結構簡潔，耗電量受益于此而最少。
與此相對，受復雜電路的影響，全硅MEMS振蕩器①的電流消耗為7.1mA；在“相位噪音與相位抖動”之項中已說明的具有良好的相位噪音特性的全硅MEMS振蕩器②竟然達到了31.5mA。由此，需要在相位噪音的改良與維持低耗電量之間做出權衡，使用振蕩器構建設備系統之際應當十分注意。

表3：各設備的需求量電壓電流測評最終
商品	頻繁	瞬時電流耗費
“SG-210S*B” 石英砂晶胞諧振器	25MHz	1.5mA
全硅MEMS震蕩器①	25MHz	7.1mA
全硅MEMS震蕩器②	19.2MHz	31.5mA

4）起振特性
《圖5》表示以1毫秒為間隔的0至0.5秒時間段中，在3.3V電源電壓、+25℃的條件下各振蕩器通電后的起振特性。
以頻率偏差在±10×10^-6以內的穩定所用時間進行比較時可以得出，石英晶體振蕩器的振蕩頻率在1.5毫秒以內實現穩定，而全硅MEMS振蕩器①約需90毫秒，相位抖動特性較好的全硅MEMS振蕩器②約需250毫秒。并且，可以觀察到全硅MEMS振蕩器在起動之后受其頻率補償方式的影響而產生離散性的頻率抖動。

5）頻率穩定度
《圖6》表示3.3V電源電壓、+25℃、測試時間50秒的條件下的各振蕩器頻率穩定度實測結果。
關于全硅MEMS振蕩器的頻率穩定度，與第4）項同樣，因鎖相環電路補償而出現間斷性的頻率跳動。尤其是耗電量較少的全硅MEMS振蕩器①，由于信號強度弱而隨時產生±0.6×10-6左右的抖動。全硅MEMS振蕩器②在這方面有所改善，仍不及石英晶體振蕩器的穩定度。長時間測試時的結果亦表明全硅MEMS振蕩器①的抖動持續不絕。

《表4》匯總了第1）至第5）項的評估結果。

表4：各企業產品測試后果統計
考核樓盤	“SG-210S*B”熔融石英尖晶石震蕩器	全硅MEMS自由振蕩器①	全硅MEMS自由振蕩器②
1）幾率溫差特質	○ 三次曲線（“SG-211S*E”帶簡易溫調功能）	△ 通過精密補償確保穩定性，但存在間斷性的頻率跳動
2）相位顫動	◎ 0.32ps	× 15.2ps	○ 0.76ps
3）直流電壓消耗脂肪	◎ 1.5mA	△ 7.1mA	× 31.5mA
4）起振屬性	◎ 1.5ms以內	× 90ms左右	× 250ms左右
5）速度穩定性高度	◎ ±0.01×10^-6以下的穩定度	× ±0.6×10^-6左右的穩定度，但隨時存在抖動	○ ±0.03×10^-6左右的穩定度，但隨時存在抖動
結合評估報告	◎	×	△

以上對石英晶體振蕩器與全硅MEMS振蕩器的特性進行了比較。從《各產品評估結果匯總》可以看出，以石英為波源的振蕩器在所有項目中均顯示出高精度及高穩定性，是兼具雙方優勢的電子元器件。
全硅MEMS振蕩器的風險因素較大，可能無法正確收發數據，有可能導致無法發揮通信設備應有功能的惡果。與其相比，石英晶體振蕩器的頻率隨溫度變化而呈線形且相對穩定，其相位噪音特性在載波周圍低頻至高頻噪音高頻的范圍內保持穩定，耗電量小，起動穩定性優越并具有高的頻率穩定度。因此，石英晶體振蕩器更適于高速通信系統中作為基準信號源使用，可有助于構建高可靠性、高穩定的系統。
今后，愛普生將充分應用石英的高精度、高穩定特性，不斷推出具備顧客應用系統所需性能的產品，回應顧客需求。

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